| ||||||||||||||||||||||||||||||||||
Скачать ГОСТ Р 8.627-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измеренийДата актуализации: 10.08.2017
|
| Обозначение: | ГОСТ Р 8.627-2007 |
| Обозначение англ: | GOST R 8.627-2007 |
| Статус: | действует |
| Название рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измерений |
| Название англ.: | State system for еnsuring the uniformity of measurements. Measurements of coefficients of regular and diffuse transmittance of ultraviolet radiation. Methods for measurements |
| Дата добавления в базу: | 01.09.2013 |
| Дата актуализации: | 05.05.2017 |
| Дата введения: | 01.07.2007 |
| Область применения: | Стандарт распространяется на методику выполнения измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения, используемых для определения оптических констант материалов и тонких пленок, коэффициентов отражения зеркал и эффективности дифракционных решеток, а также при контроле технологических процессов в микроэлектронике. |
| Оглавление: | 1 Область применения 2 Нормативные ссылки 3 Требования к погрешности измерений 4 Средства измерений и вспомогательные устройства 5 Метод измерений 6 Требования безопасности 7 Требования к квалификации операторов 8 Условия измерений 9 Подготовка и проведение измерений 10 Контроль погрешности результатов измерений 11 Оформление результатов измерений Приложение А Определение коэффициентов зеркального и диффузного отражения |
| Разработан: | ФГУП ВНИИОФИ |
| Утверждён: | 28.02.2007 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (26-ст) |
| Издан: | Стандартинформ (2007 г. ) |
| Расположен в: | |
| Нормативные ссылки: |
|







