| Обозначение | Дата введения | Статус |
  ГОСТ 4.64-80 Система показателей качества продукции. Полупроводниковые материалы. Номенклатура показателей | 01.07.1981 | Действует |
| |
 ГОСТ 2169-69 Кремний технический. Технические условия | 01.07.1970 | Взамен |
Область применения: Стандарт распространяется на кремний, получаемый путем восстановительной плавки кварцита в дуговых электропечах, предназначенный для изготовления кремнийсодержащих сплавов, кремнийорганической продукции, полупроводникового кремния, а также для спеццелей. Заменяет собой:  ГОСТ 2169-43 «Кремний кристаллический. Классификация и технические условия» |
| ГОСТ 19014.0-73 Кремний кристаллический. Общие требования к методам химического анализа | 01.01.1975 | Действует |
Заменяет собой: - ГОСТ 2178-54 «Кремний кристаллический. Методы химического анализа» (в части разд. I, II)
|
| ГОСТ 19014.1-73 Кремний кристаллический. Методы определения алюминия | 01.01.1975 | Действует |
Заменяет собой: - ГОСТ 2178-54 «Кремний кристаллический. Методы химического анализа» (в части разд. III)
|
| ГОСТ 19014.2-73 Кремний кристаллический. Методы определения железа | 01.01.1975 | Действует |
Область применения: Стандарт устанавливает фотометрический и атомно-абсорбционный методы определения железа (при массовой доле железа от 0,3 до 1,6 %) в кристаллическом кремнии. Заменяет собой: - ГОСТ 2178-54 «Кремний кристаллический. Методы химического анализа» (в части разд. IV)
|
| ГОСТ 19014.3-73 Кремний кристаллический. Методы определения кальция | 01.01.1975 | Действует |
Область применения: Стандарт устанавливает титриметрический и атомно-абсорбционный методы определения кальция (при массовой доле кальция от 0,30 до 1,60 %) в кристаллическом кремнии. Заменяет собой: - ГОСТ 2178-54 «Кремний кристаллический. Методы химического анализа» (в части разд. V)
|
| ГОСТ 19014.4-73 Кремний кристаллический. Методы определения титана | 01.01.1975 | Действует |
Область применения: Стандарт устанавливает фотометрический и атомно-абсорбционный методы определения титана (при массовой доле титана от 0,10 до 0,40 %) в кристаллическом кремнии. Заменяет собой: - ГОСТ 2178-54 «Кремний кристаллический. Методы химического анализа» (в части разд. VI)
|
| ГОСТ 19658-81 Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия | 01.01.1983 | Действует |
Область применения: Стандарт распространяется на слитки монокристаллического кремния, получаемые методом Чохральского и предназначенные для изготовления пластин-подложек, используемых в производстве эпитаксиальных структур и структур металл - диэлектрик - полупроводник. Заменяет собой: - ГОСТ 19658-74 «Кремний монокристаллический. Технические требования. Маркировка, упаковка, транспортирование и хранение»
|
| ГОСТ 22265-76 Материалы проводниковые. Термины и определения | 01.01.1978 | Действует |
Область применения: Стандарт устанавливает применяемые в науке, технике и производстве термины и определения основных понятий в области проводниковых материалов. Заменяет собой: - ГОСТ 17033-71 «Материалы электротехнические. Термины и определения» (в части терминологии проводниковых материалов)
|
| ГОСТ 22622-77 Материалы полупроводниковые. Термины и определения основных электрофизических параметров | 01.07.1978 | Действует |
| Область применения: Стандарт устанавливает применяемые в науке, технике и производстве термины и определения основных понятий полупроводников материалов. |
| ГОСТ 26239.0-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Общие требования к методам анализа | 01.01.1986 | Действует |
| |
| ГОСТ 26239.1-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей | 01.01.1986 | Действует |
| |
| ГОСТ 26239.2-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения бора | 01.01.1986 | Действует |
| |
| ГОСТ 26239.3-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения фосфора | 01.01.1986 | Действует |
| |
| ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей | 01.01.1986 | Действует |
| |
| ГОСТ 26239.6-84 Кремний четыреххлористый. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана, тетрахлорида кремния, 1,3,3,3-тетрахлордисилоксана, 1,1,3,3-тетрахлордисилоксана, пентахлордисилоксана, гексахлордисилоксана, гексахлордисилана | 01.01.1986 | Действует |
| |
| ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота | 01.01.1986 | Действует |
| |
| ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния | 01.01.1986 | Действует |
| |