ГОСТ Р 8.659-2009
Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки
| Обозначение: | ГОСТ Р 8.659-2009 |
| Обозначение англ: | GOST R 8.659-2009 |
| Статус: | Введен впервые |
| Название рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки |
| Название англ.: | State system for ensuring the uniformity of measurements Instruments measuring the characteristics of ultraviolet radiation of technological testing of nanophotolitography.Verification procedure |
| Дата добавления в базу: | 01.02.2017 |
| Дата актуализации: | 05.05.2017 |
| Дата введения: | 01.01.2011 |
| Область применения: | Стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения, используемые при технологическом контроле в нанофотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок. |
| Оглавление: | 1 Область применения 2 Нормативные ссылки 3 Операции поверки 4 Средства поверки 5 Требования к квалификации поверителей 6 Требования безопасности 7 Условия поверки 8 Подготовка и проведение поверки 9 Обработка результатов измерений 10 Оформление результатов поверки Библиография |
| Разработан: | ФГУП ВНИИОФИ |
| Утверждён: | 15.12.2009 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (972-ст) |
| Издан: | Стандартинформ (2010 г. ) |
| Расположен в: | |
| Нормативные ссылки: |
|
ГОСТ 8.207-76 «Государственная система обеспечения единства измерений. Прямые измерения с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения»
